浅析静音型直线滑台中螺母消隙技术

静音型直线滑台中的螺母消隙的传统方法是通过在两个独立的螺母之间加装弹簧或垫片，可以消除丝杆和螺母之间的间隙，从而提高梯形螺纹副的重复定位精度，提高运行平稳性。静音型直线滑台使用弹簧预紧时，可适当实时补偿因磨损造成的间隙增大；但是，弹簧的弹力必须大于运行时的轴向负荷才能保证消除间隙，这回增加丝杠运行阻力。使用垫片预紧时，预紧状态会随着磨损加大而失效。

为了克服直静音型直线滑台以上缺点，对于消隙螺母，大部分企业使用特有螺纹隔套技术，隔套内装一个扭簧，可实时提供间隙补偿而不增加丝杆阻力；同时，预紧力可随时根据需要予以调整。

精密/超精密运动静音型直线滑台的发展历史

2018年，中兴事件的爆发加速了大陆地区半导体设备国产化进程，尤其是后道工艺制程设备。6/8/12英寸硅基晶圆AOI检测、4/6英寸碳化硅晶圆AOI检测、芯片分选机等半导体封装、晶圆wafer隐性切割、检测设备逐渐进入国内有名的半导体Fab厂，并得以批量应用。由于半导体设备对精度等级的要求较高，因此该细分市场带动了精密运动静音型直线滑台的精度等级的多方面提升，半导体检测设备所需的定位精度小于5微米，使得半导体设备中精密定位系统几乎全部采用了直线电机驱动的精密运动静音型直线滑台，预计今年半导体设备对静音型直线滑台及运动台的需求量约为0.75亿，并将以每年30%的增幅递增。

浅谈电动静音型直线滑台那些特点

电动静音型直线滑台滑台的应用行业越来越广泛，主要因为电动滑台的特点众多，符合不同企业的发展需求，那么，电动静音型直线滑台滑台有哪些特点优势呢。

1、电动静音型直线滑台滑台轻量化高刚性：使用挤制铝合金(alloy)型材制造的基座与直线导轨相结合因而实现了轻量化、高刚性、高精度、价格低、体积（volume)小、重量轻、铝合金结构、模组化设计、滑动台和底座经过阳极（anode）处后装入直线导轨，基座与滑动台搭配，实现了高刚性和负载（load）容量。对负载负荷的变位量小，用于搭载的 质量或外部负载变动的用途也能依然保持高稳定（解释:稳固安定；没有变动)性(The stability of)。