轻载型直线滑台+伺服电机的控制方式
轻载型直线滑台对运动中的动态性能有比较高的要求时,需要实时对电机进行调整。如果控制器本身的运算速度很慢(比如,或低端运动控制器),就用位置方式控制。轻载型直线滑台中如果控制器运算速度比较快,可以用速度方式,把位置环从驱动器移到控制器上,减少驱动器的工作量,提升效率;如果有更好的控制器,还可以用转矩方式控制,把速度环也从驱动器上移开,这一般只是豪华用控制器才能这么做。
一般说驱动器控制的好坏,有个比较直观的比较方式,叫响应带宽。当转矩控制或速度控制时,通过脉冲发生器给它一个方波信号,使轻载型直线滑台中电机不断的正转、反转,不断的调高频率,示波器上显示的是个扫频信号,当包络线的顶点到达较高值的70.7%时,表示已经失步,此时频率的高低,就能说明控制的好坏了,一般电流环能做到1000HZ以上,而速度环只能做到几十赫兹。
轻载型直线滑台支撑座坏了还可以在利用吗
轻载型直线滑台支撑做的安装:
(1)将固定侧安装到螺杆上。
(2)将固定侧插入,拧紧锁紧螺帽,用垫块和内六角固定螺栓将其固定。
(3)支撑侧轴承用止动环固定到螺杆轴上,并装入支撑侧支撑座。
轻载型直线滑台工作台程基座上的安装
(1)使用支座把滚珠螺杆螺帽安装在工作台时,将螺帽插入支座并暂时拧紧。
(2)将固定侧暂时拧紧到基座上。
这时,请将轻载型直线滑台工作台靠近固定侧支撑单元并对准轴中心,调整工作台使基能平滑移动。
精密/超精密运动轻载型直线滑台的发展历史
2018年,中兴事件的爆发加速了大陆地区半导体设备国产化进程,尤其是后道工艺制程设备。6/8/12英寸硅基晶圆AOI检测、4/6英寸碳化硅晶圆AOI检测、芯片分选机等半导体封装、晶圆wafer隐性切割、检测设备逐渐进入国内有名的半导体Fab厂,并得以批量应用。由于半导体设备对精度等级的要求较高,因此该细分市场带动了精密运动轻载型直线滑台的精度等级的多方面提升,半导体检测设备所需的定位精度小于5微米,使得半导体设备中精密定位系统几乎全部采用了直线电机驱动的精密运动轻载型直线滑台,预计今年半导体设备对轻载型直线滑台及运动台的需求量约为0.75亿,并将以每年30%的增幅递增。